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產品型號：PS4/PS8
更新時間：2025-01-16
廠商性質：代理商
訪 問 量 ：403
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產品分類
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Prober Shuttle PS8, 超緊湊的 PS8可安裝多達八個MM4 微機械手以及一個三軸子平臺。27 個軸中的每個軸都能以JI高的精度進行定位。探針的 Z 驅動向上擺動 90°，便于接近樣品，也便于快速更換針尖。
每個微型MM4機械手都配備了用于低電流測量套件。整個平臺可通過一個 6" Load Lock進入掃描電鏡或掃描電鏡/FIB 的真空室。
Prober Shuttle PS8,還配有高級探測工具套件（可選），可為Probing探測應用提供大量附加功能。可用于半導體材料，器件，結構等電學性能分析。
系統特點
所有空氣側硬件均安裝在 19 英寸機架上
電子設備機架位于操作員視線之外
通過 APT UI 控制整個系統
從法蘭到機架的整潔電纜管理
針對電路編輯應用的 FIB 傾斜探測
非磁性設計
可用于5納米及更高
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